超純水設備一般由多介質過濾器、石英砂過濾器、阻垢緩蝕劑、反滲透設備等組成預備處理系統、RO反滲透服務器系統、離子交換法混床(EDI電除鹽系統)系統等組成關鍵設備系統。

原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水系統水箱都設有液位控制系統、高低壓水泵都設有高壓低壓工作壓力保護設備、線上水質監測控制儀表、電氣設備選用PLC程序控制器,真正做到無人化,使此設備與其他同行業相比,超純水設備生產廠家主要有以下優點:
不用酸堿再生:在混床中環氧樹脂要用化學品酸堿再生,而EDI則規避了床酸堿再生過程中產生的廢酸費堿的和處理繁瑣的工作,保障了環境。